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轻工实验室佛山-检测公司
发布用户:styqjcgs
发布时间:2024-05-19 12:38:53
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轻工实验室佛山-检测公司轻工实验室校准过程中,校准点数通常取6~11,校准循环次数通常取3~5,具体大小取决于被校传感器的精度和使用要求。
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2、校准实验系统设计
仪器校准实验系统由高低温真空试验装置和上位机人机软件组成,其中使用压力薄膜规和镍铬热电偶分别作为压力、温度参量基准,使用解调模块读出被校传感器的输出,系统结构如图2所示。
此外,设备设计人员现在可以将智能系统和物联网扩展到过去难以接近的区域和应用中,而不受尺寸的限制或价格的制约。对先进技术和物联网(IoT)的日益依赖,推动了对传感器的需求,这些传感器可方便地从少量到大量部署,并且低扩展成本和免维护。技术的进步使许多不同类型设备之间的互联成为可能。始于智能手机的互联已经演变成温控器、家电、车辆和其它被称为物联网(IoT)设备的联网。物联网由通过各种接口来回传输数据的许多设备组成,无线云接口是 常见的接口。
(1) 高低温真空实验装置
高低温真空实验装置是为了模拟传感器实际测量环境而专门设计的,可以实现压力、温度的复合加载,由腔体、压力控制系统、温度控制系统和水冷循环系统等部分组成。
1) 腔体结构
腔体是高低温试验装置的核心部分,通过隔板分为载荷室和环境室两个腔室。载荷室模拟传感器前端接触到的外界环境,如高温、近真空、微小压力,即壳体外表面环境;环境室模拟传感器后端的工作环境,也就是壳体内部的环境。腔室结构示意图如图3所示。
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在电源行业,示波器是通用的测试仪器,但许多特色需求,比如电源测试要求通道隔离,有时通道数量需要8个以上,以及CAN通讯等,这些需求示波器都无法满足。但是对示波 来讲,这些需求都不是问题。隔离测试隔离测试是电源产品非常重要的诉求,一般示波器均是不隔离,若示波器地与非隔离电源的地直接相连,可能会造成电源烧毁,示波器炸机的情况。基于此问题,目前衍生出的解决方法大致有以下两类。剪除示波器供电插头地脚示波器不隔离的核心后果是造成测试时,输入输出共地造成短路,所以,若能剪除示波器供电电源插头的地脚,从而切断示波器与地的连接,就不会造成短路。
在电源行业,示波器是通用的测试仪器,但许多特色需求,比如电源测试要求通道隔离,有时通道数量需要8个以上,以及CAN通讯等,这些需求示波器都无法满足。但是对示波 来讲,这些需求都不是问题。隔离测试隔离测试是电源产品非常重要的诉求,一般示波器均是不隔离,若示波器地与非隔离电源的地直接相连,可能会造成电源烧毁,示波器炸机的情况。基于此问题,目前衍生出的解决方法大致有以下两类。剪除示波器供电插头地脚示波器不隔离的核心后果是造成测试时,输入输出共地造成短路,所以,若能剪除示波器供电电源插头的地脚,从而切断示波器与地的连接,就不会造成短路。
为了实现对载荷室温度、压力的复合加载,在载荷室的四周放置镍铬加热板加热,并带有热屏蔽板,使用两根镍铬热电偶测量载荷室环境温度,作为参考温度基准。在室温~375 00℃的范围内,其测量精度为0.4%。通过压力控制系统调节载荷室内环境压力,使用MKS公司626系列压力薄膜规作为参考压力基准,其压力测量范围0.2~266 Pa,测量精度0.12%。
2) 压力控制系统
压力控制系统能够将载荷室和环境室抽至高真空状态,此外还可以调节载荷室内环境压力。它由机械泵、分子泵、限流阀、压控仪、气体流量计等部件组成。其中限流阀、压控仪用于腔室内压力的控制,气体流量计用于调节补气流量大小。
系统控制逻辑如图4所示。压控仪接收参数设置信号,与薄膜规测量信号进行比较,根据比较结果调节限流阀度的大小,经过不断地调节控制*终达到动态平衡,使得载荷室内气压等于设定压力值。此外,可以根据设定压力的大小调节补气阀度大小,例如若要达到一个较大的压力值,则可以适当增大补气流量,使得载荷室内气压更快地上升到设定压力。
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实测频谱分析仪,近场探头,结合恒电磁波传输小室(简称TEM小室)能作为识别辐射干扰根源的基本工具。本次测试我们采用鼎阳科技SSA3021X频谱分析仪和选配的近场探头以及TekBox的TEM小室。首先我们打频谱分析仪然后设置如下:SPAN设置为530KHz到2MHz;RBW设置为9KHz,衰减设置为0dB,显示设置为电压平均;打频谱仪标配的预置放大器,并选用正峰值检波器,测试结果如下:频谱仪基础设置在以上设置参数参考的情况下,显示平均噪声电平(DANL)大约在-20dBμV左右,这个指标在同级别的频谱仪中算是非常好的。
实测频谱分析仪,近场探头,结合恒电磁波传输小室(简称TEM小室)能作为识别辐射干扰根源的基本工具。本次测试我们采用鼎阳科技SSA3021X频谱分析仪和选配的近场探头以及TekBox的TEM小室。首先我们打频谱分析仪然后设置如下:SPAN设置为530KHz到2MHz;RBW设置为9KHz,衰减设置为0dB,显示设置为电压平均;打频谱仪标配的预置放大器,并选用正峰值检波器,测试结果如下:频谱仪基础设置在以上设置参数参考的情况下,显示平均噪声电平(DANL)大约在-20dBμV左右,这个指标在同级别的频谱仪中算是非常好的。
3) 温度控制系统
系统采用镍铬加热板加热,通过调节加热电流的大小达到控温的目的。加热电源采用PID控制系统,可以使载荷室从室温快速加温到800℃,并且温度可调、控温。
4) 水冷循环系统
系统配有水冷循环系统用于系统整体的冷却,其中载荷室配置TC WS制冷循环水机,控温范围为10~27℃,给腔室、分子泵等稳定的制冷循环水,保证设备稳定运行。
(2) 上位机人机软件
为了方便高温微压力传感器的仪器校准试验,我们使用FameView组态软件编写了上位机人机软件。该软件主要用于实时监控载荷室和环境室的半导体生产流程由晶圆,晶圆测试,芯片封装和封装后测试组成,晶圆和芯片封装讨论较多,而测试环节的相关知识经常被边缘化,下面集中介绍集成电路芯片测试的相关内容,主要集中在WAT,CP和FT三个环节。集成电路设计、、封装流程示意图WAT(WaferAcceptanceTest)测试,也叫PCM(ProcessControlMonitoring),对Wafer划片槽(ScribeLine)测试键(TestKey)的测试,通过电性参数来监控各步工艺是否正常和稳定,CMOS的电容,电阻,Contact,metalLine等,一般在wafer完成制程前,是Wafer从Fab厂出货到封测厂的依据,测试方法是用ProbeCard扎在TestKey的metalPad上,ProbeCard另一端接在WAT测试机台上,由WATRecipe自动控制测试位置和内容,测完某条TestKey后,ProbeCard会自动移到下一条TestKey,直到整片Wafer测试完成。压力、温度状况,此外还具有数据存储功能。软件通过RS232协议与PLC进行通信,经由PLC控制高低温真空试验装置各个组件,实现了通过计算机远程控制的目的。
图5为该软件载荷室压力监控界面,当压力设定增大时,由于需要补气故响应速度较慢,相比之下,压力设定减小时响应迅速。
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信息及通信技术作为新时期智能电网应具备的核心技术之一,可以说是决定整个智能电网运行建设及其发展速度的 关键因素。在建设智能电网的过程中,绝大多数变电站设备及发电机、电缆、线路等都有在线监测项目。电力的在线监测是智能电网中不可缺少的重要部分。然而受电力系统分布式及实时性的特性影响,导致各种监测控制设备在信息获取方面存在着一定的时延、路径不确定性及数据包信息流丢失等问题。随着工业以太网技术、光纤技术、信息技术的发展,并向电力领域的渗透,在当前技术条件支持背景作用之下,工业以太网通信在运行过程当中所表现出的包括可靠性高、灵活性高、维护性高以及扩展性高在内的多种应用优势,对于优化整个电网系统各种设备元件的连接和信息传输方面都有着重要突破。
信息及通信技术作为新时期智能电网应具备的核心技术之一,可以说是决定整个智能电网运行建设及其发展速度的 关键因素。在建设智能电网的过程中,绝大多数变电站设备及发电机、电缆、线路等都有在线监测项目。电力的在线监测是智能电网中不可缺少的重要部分。然而受电力系统分布式及实时性的特性影响,导致各种监测控制设备在信息获取方面存在着一定的时延、路径不确定性及数据包信息流丢失等问题。随着工业以太网技术、光纤技术、信息技术的发展,并向电力领域的渗透,在当前技术条件支持背景作用之下,工业以太网通信在运行过程当中所表现出的包括可靠性高、灵活性高、维护性高以及扩展性高在内的多种应用优势,对于优化整个电网系统各种设备元件的连接和信息传输方面都有着重要突破。